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オープンシンポジウム OPEN SYMPOSIUM
<第2回/VOL. 2>
「マイクロファブリケーション研究の最新動向」
〜超微細・超微小・超高速:極限ファブリケーション〜

"Advances in Micro-Fabrication Techniques and
Research Activities by
Ultra-Fine, Small-Scaled, and High-Speed Ultimate Fabrication"

Thursday, June 18, 1998, 13:00 to 17:00
Okochi Hall, The Institute of Physical and Chemical
Research (RIKEN)


〜 プ ロ グ ラ ム 内 容 〜
P r o g r a m


総合司会 : 大森 整 (理研),伊藤伸英 (茨城大・工)
Chairman: Dr.H.Ohmori (RIKEN), Co-Chairman: Mr.N.Itoh (Ibaraki Univ.)

講 演 題 目 講 師
Title/Subject Presenter
13:00〜13:30
1. 挨拶、開会の主旨、研究活動の紹介 (素形材工学研究室におけるマイクロメカニカルファブリケーション研究体制、理研ベンチャー新会社:新世代加工システム(株)の創立について)
牧野内 昭武、大森 整 (理研)
Opening remarks, and Introductory Comments on the New Research Activities
Dr.A.Makinouchi, Dr.H.Ohmori (RIKEN)
13:30〜14:20
2. 超精密ELID鏡面研削による機能性部品のマイクロファブリケーション (マイクロ光学素子やマイクロピンの加工時の変形問題、マイクロ磁気研磨、マイクロ半導体デバイスの微細加工)
守安 精 (理研、東大生研)
Micro-fabrication Grinding of Functional Micro-parts by Ultraprecision ELID Mirror Surface Grinding
Mr.S.Moriyasu (RIKEN,Univ.Tokyo)
14:20〜15:00
3. 超精密・超微細研削による硬質機構部品のマイクロファブリケーション (マイクロギア、ハイアスペクト構造体、マイクロスリットの微細研削加工、マイクロマシンセンタでの活動)
服部光郎 (機械技研)
Micro-fabrication of Hard Material Structural Components by Ultra-precision, and fine Grinding
Dr.M.Hattori (MEL)
15:00〜15:15 休憩
Rest, 15:00〜15:15
15:15〜16:00
4. 超精密・超微細切削によるホログラム光学素子のマイクロファブリケーション (多焦点レンズ、マイクロレンズ、ホログラムレンズ金型の超精密マイクロ切削加工、6軸超精密加工機)
森田晋也 (理研、東大)
Micro-fabrication of Holographic Optical Element by Ultra-precision and fine Cutting
Mr.S.Morita (RIKEN,Univ.Tokyo)
16:00〜16:45
5. 超微細・超高速砥粒加工によるマイクロファブリケーション (超高速研削加工、単結晶シリコンの微細切削加工、マイクロアブレイシブジェット加工、マイクロ非球面加工・レンズアレイ)
廚川常元 (東北大学・大学院工学系)
Micro-Fabrication by Ultra-Fine and High-Speed Abrasive Processes
Dr.T.Kuriyagawa (Tohoku Univ.)
16:45〜17:00
6. 総括、活動の抱負および次回予定・閉会の挨拶 山形 豊、大森 整 (理研)
Discussions, Directory to the 3rd Symposium, and Closing Remarks
Dr.Y.Yamagata, Dr.H.Ohmori (RIKEN)



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