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1999年10月19-20日に行われました第1回日韓合同シンポジウム (第5回オープンシンポジウム) 時に講演された韓国側技術資料です
    A MICRO FABRICATION TECHNOLOGY IN KIMM

    Development of an Semi-Rigid Abrasive Pad for Chemical Mechanical Polishing


マイクロ成形加工技術



* マイクロ加工装置および周辺機器の実用化にあたり、理化学研究所等の特許・ノウハウの実施化が進められています。


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